1. Principles of plasma discharges and materials processing
پدیدآورنده: / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg.
کتابخانه: سازمان اسناد و كتابخانه ملی جمهوری اسلامی ایران (تهران)
موضوع: دینامیک پلاسما,لایههای نازک -- رویهها,Plasma etching,Plasma chemistry -- Industrial applications
رده :
QC
۷۱۸
/
۵
/
د
۹
ل
۹ ۱۳۸۴
